ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統。 兩個傳感器板，一個目標和一個探頭，形成一個平行板電容器。 可以使用適當的電子控制器測量這兩個板的間距。 可以實現最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標準產品提供 20um 至 1250um 的測量范圍，頻率響應高達 5KHz，線性度低至 0.02%。高熱穩定性結構（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驅動 ZNXSensor 系列的單通道獨立電子模塊。 它通過測量平行板電容器的電容變化來工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。
當傳感器間隙從標稱間隙的 50% 變化到 150% 時，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線性變化，此比例可由用戶設置。
ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨立操作和高分辨率使其成為升級需要納米定位的現有系統的理想選擇。
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ZNX超精密電容位移傳感器特點：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；線性最高0.02%；
(2)、對位置的尺度變化非常敏感，精確測量到皮米級位移變化；
(3)、可調諧以滿足應用要求；
(4)、高精度，線性度最高可至0.02%FS；
(5)、高熱穩定性結構（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移；
(6)、適用于各種應用并適應各種環境挑戰，可用于真空，極端低溫，強輻射。
ZNX超精密電容位移傳感器應用領域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。
ZNX超精密電容位移傳感器技術規格：
傳感器型號 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
靈敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
溫漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
靈敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
溫漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
線性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作溫度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探頭） | ||
存儲溫度 | 0～+70℃ | ||
相對濕度 | 5～95%（無冷凝） | ||
頻響Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型號 | CC-A-4101 | ||
傳感器通道最大個數 | 1 | ||
供電 | ±15V，75mA | ||
模擬輸出V | ±10 | ||
數字輸出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
頻響Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我們保留規格變化而不另行通知的權利。
ZNX超精密電容位移傳感器測量原理：
ZNX超精密電容位移傳感器安裝尺寸：
英國真尚有_低成本_電渦流傳感器|0.1um電渦流位移傳感器|ZED23
低成本電渦流傳感器ZED23是一款高性能非接觸線性位移測量系統。該電渦流位移傳感器是基于平衡電橋渦流技術研制成功的，使用簡單，性能優越，可以用于各種極端環境。無論是用于科學研究還是自動化的過程控制，系統都能表現其優異的性能。
ZED23有非常卓越的分辨率和速度性能(0.1μm分辨率，50KHz高響應)，多傳感器同步功能，符合環保RoHS和安全CE標準等頂極性能，獲2007美國傳感器金獎。
ZED23是軌導DIN式結構，該系統非常適合集成到OEM設備和工業控制應用中，可配30種傳感器頭，覆蓋量程0.5～60mm，可測量鐵磁和非鐵磁所有金屬材料。
ZED23可用于實驗室、過程自動化控制等。用戶可自行調整零位、增益和線性滿足各種實際需求，也可選擇延長電纜、溫度補償等特殊需求。
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英國真尚有_0.1nm差動電渦流傳感器|超穩定電渦流位移傳感器 | ZED51
埃米級超穩定差動電渦流傳感器ZED51具有堅固的結構，平均故障間隔時間超過 55,000 小時，太空飛行環境中的平均故障間隔時間為 238,000 小時。而且ZED51 的小封裝尺寸（僅 2 x 2.12 x 0.75 英寸） 厚）使該系統成為空間受限的應用的理想選擇。
電渦流位移傳感器ZED51即使暴露于所有自然或在制造、測試、運輸、搬運、儲存、安裝和拆卸操作過程中遇到的誘發環境后仍然能夠達到指定的性能。
ZED51無需定期維護和調整，且無需特殊工具即可拆卸和更換。
該系列的低溫版本傳感器具有內部膨脹節，當使用 Belleville 墊圈螺釘安裝時，可有效消除應力或溫度引起的機械變形。該傳感器已確認在 70°Kelvin的液氮中具有最佳性能。一些航空航天應用在 4°K的液氦環境中也有效地使用了該傳感器。
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英國真尚有_電容傳感器 | 電容式傳感器 | 電容位移傳感器（CWCS10）
CWCS10納米級電容傳感器采用電容式測量原理，無需接觸被測物即可測量傳感器與被測物表面之間的距離，并且具有納米級的分辨率。
CWCS10納米級電容傳感器的最高工作溫度受連接器內部焊接材料的熔化溫度限制，標準探頭也能在接近絕對零度的極低溫度下進行測量。并且由于傳感器的靈敏度容差很小，因此更換探頭后無需重新校準仍然可以保證 ±0.5% 的總精度。對于特殊應用，納米級電容傳感器CWCS10的輸出電壓的靈敏度還可以調整為 0 到 10 倍。
CWCS10納米級電容傳感器測量受電介質特性的影響。通常用于空氣中的測量，傳感器和目標之間的區域應該完全沒有灰塵、油或水。如有必要，這可以通過將空氣吹過傳感器和目標之間的間隙來實現。
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